【PPB级超高纯半导体防腐专用PFA】

2024-05-21 15:22 涓微新材

【PPB级超高纯半导体防腐专用PFA ,应用石英石晶 圆花篮,半导体清洗槽,半导体设备】

作者:涓微新材

超高纯度 接触晶圆的防腐材料金 属离子含量低于PPB级, 否则会污染晶圆 优秀防腐性 需要有优秀的耐酸碱性能, 抵御各类强酸强碱,防止 腐蚀造成金属离子析出厚度及致密性 高厚度和致密性,保证 研磨液/清洗液不会渗透 进入涂层接触基体金属 硬度及耐磨性 硬度及韧性保证部件可进 行二次加工从而保证精度, 耐磨性保证了部件的寿命 且不能过硬划伤晶圆

产品案例

8/12寸晶圆花篮由于强度 载重原因,部分无法使用 超高纯注塑材料,改用超 高纯氧化硅/氧化铝陶瓷材 料,但表面容易划伤晶圆, 且接触酸容易造成花篮腐 蚀损坏

叉手在转移晶圆的同时, 会造成晶圆划伤,需要表 面进行防护,同时材料需 要有防腐性保证飞溅的酸 碱不损坏转运臂

纯度:PPB级

厚度:400-800µm

耐酸:氢氟酸+硝酸

硬度:4H

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