【CMP铝材研磨盘HALAR,PFA涂层加工，200um涂层厚度，平面精度可控在2um±公差】

CMP铝材研磨盘HALAR,PFA涂层加工，200um涂层厚度，平面精度可控在2um±公差以内，等应用防腐耐酸，耐磨，防等离子气，防金属离子析出，经过特殊的工艺处理，在恶劣的环境下使用，可延长使用寿命，涂层不脱层，不起皮，可耐50%的浓酸